辽宁唯一 沈阳拓荆科技荣获“IC创新奖”

本报讯(沈阳日报、沈报全媒体记者黄超)日前，中国集成电路创新联盟组织召开“2021集成电路产业链协同创新发展交流会”，沈阳拓荆科技股份有限公司“量产型SACVD设备研发与应用”项目荣获第四届“IC创新奖”技术创新奖。此次获得技术创新奖的共有6家企业，拓荆科技是辽宁唯一的获奖企业。

在国家科技重大专项和省科技重大专项的支持下，拓荆科技SACVD研发团队自主创新研发，成功研制了国内首台12英寸/8英寸量产型SACVD设备并实现应用，顺利通过生产线成套工艺的考核验证。SACVD设备是芯片制造过程中所需的关键设备之一。

读报名词：

“IC创新奖”由中国集成电路创新联盟(大联盟)于2018年设立，旨在重点鼓励集成电路技术创新、成果产业化、产业链上下游合作，以体现大联盟倡导全产业链合作的理念。本届共征集126家单位159个项目参评。