中科飞测：量产设备覆盖HBM、2.5D/3D封装领域头部客户需求_时讯

来源: 证星董秘互动 ┆ 时间: 2026-06-18 18:10:33

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中科飞测(688361)06月18日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：董秘您好，贵企业在针对IC先进封装工艺中晶圆凸块、铜柱等类型，RDL、TSV等工艺等典型3D特征和2D关键尺寸及缺陷检测的量检测系统，研发进展如何，是否已经出货，客户端是否已经稳定量产。谢谢中科飞测董秘：您好，感谢您对公司的关注。公司的量产设备已经覆盖国内HBM、2.5D/3D封装领域头部客户对于量检测的全部需求，包括暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、套刻精度量测设备、介质膜厚量测设备等量产设备，这些设备在先进封装收入中占有很高比例。

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